
当TEM/EDS分析涉及碳、氮、氧等轻元素,若无特殊校正技术,成分分析的准确性将难以保证。本文介绍自我校正技术,透过参考相修正EDS数据,大幅提升氧化物、氮化物等分析的准确度,并以GaN薄膜案例验证其应用成效…

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A14工艺即将问世,随着半导体组件尺寸微缩,原子探针断层扫描仪(APT)成为新兴的材料分析技术,APT的原理机制究竟是什么?而APT针尖型的样品又该如何制备呢?


随着 AI 技术不断进步,如何透过最新AI高速信号全面解决方案,确保产品顺利通过高速规格验证,在这波技术浪潮中保持领先?