
化学镀工艺最大特色是,只需利用一系列的氧化还原反应,将镍金/镍钯金选择性的成长在铝垫上,完全不需要经过高真空溅镀/黄光工艺/蚀刻工艺,因此成本可降低…

正面金属化工艺是MOSFET晶圆减薄的一个关键工艺,正面金属化工艺的目的,就是藉由溅镀或化学镀方式形成UBM,接着做铜夹焊接 (Clip Bond),以降低导线电阻….

MOSFET组件供不应求,IDM又产能满载,交期大幅拉长怎么办?完成了晶圆薄化与表面处理,后续又得将晶圆转运去做CP和切割,有没有一次就做到好的厂商?
化学镀工艺最大特色是,只需利用一系列的氧化还原反应,将镍金/镍钯金选择性的成长在铝垫上,完全不需要经过高真空溅镀/黄光工艺/蚀刻工艺,因此成本可降低…
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