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TEM EDS轻元素,如碳、氮、氧等,容易导致TEM/EDS成份分析失真?原来都是低能量X光吸收效应在捣蛋。了解并克服这一问题,对于提高组件可靠性和成份分析的准确性至关重要…
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在半导体制程接近极限之际,材料分析成为突破瓶颈的关键,业界经常使用电子显微镜(TEM)搭配X光能量散布能谱仪(EDS)解析微奈米材料。但EDS的能量分辨率较低,容易造成能峰重迭和伪讯号两大问题,该如何判读EDS能谱,才能解析出正确的材料成分分析结果?
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AI芯片高效能、高带宽或低耗电等特性,不仅会影响AI芯片的效能与寿命,甚至,也造成可靠性试验设计手法设备等,面临极大挑战。宜特为您归纳出AI芯片最常见的三大挑战与解决办法,将会逐一说明。
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AEC-Q007 Spec 终于在今年三月,众人引颈期盼之下,针对车用板阶可靠性的AEC-Q007 Spec 问世。现在就让我们快速了解一下AEC-Q007到底包含了哪些内容吧…
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半自动化研磨 让样品制备变得更均匀精准,即使看似难以处理的样品材质,也能轻松应对。再也不会因为传统人工研磨力道难以控制,容易导致样品歪斜、厚度不均,甚至IC结构严重受损…
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差排轨迹 在芯片制造过程中,是一个相当棘手的问题,这个微小缺陷可能会引发半导体组件的漏电流,进而严重影响组件的可靠性。TEM是目前唯一能观察差排的分析工具…