iST宜特科技持续加快研发脚步，以满足客户在先进制程产品上分析与验证之需求。今年7月16日到7月19日，宜特材料分析TEM工程博士林敬钧获邀至IEEE半导体故障分析领域最高殿堂IPFA(积体电路失效分析论坛)发表最新研究成果。

此技术主要可降低对电子束敏感的材料受到的辐射损伤，例如半导体制程中常用的低介电常数材料(Low-K material)，同时提升TEM影像对比。藉由控制TEM试片厚度可重复此实验结果。

此成果不但可提升轻元素影像对比，同时也可避免试片受到辐射损害。为半导体大厂以及产品制程中需要TEM检测，但其材料对电子束敏感的客户提供最新解决方案。

若您也将出席此盛会，我们诚挚期待与您在现场交流(Poster Session P1.10 , ID:290)。

• 论文名称: Cost and Effective Way to Reduce Radiation Damage and Enhance Image Contrast of Beam Sensitive Material in TEM
• 发表者: 宜特科技TEM工程课课长-林敬钧博士
• 发表日期: 2018/7/16
• 议程: Poster Session
• 发表时间: 12:10 pm- 2:30 pm
• 活动地点: 新加坡金沙酒店