随半导体产业朝更先进工艺发展之际，宜特电路修补技术(IC Circuit Edit)检测技术再突破！宜特今(X/X)宣布，宜特通过客户肯定，IC芯片FIB电路修补技术达5奈米(nm)工艺。这是从2018年首度完成7奈米(nm)工艺的样品后，再次挑战更先进工艺的电路修补，并成功的完成挑战，协助客户进行芯片性能优化，加速产品上市。

宜特针对IC设计业者为何须进行电路修补进行说明。先进工艺的开发成本越趋昂贵、晶圆产能短缺交期更长，即使电路仿真软件(如EDA工具)的辅助设计不断提升，仍无法确保芯片成品能百分之百达到设计目标，一旦发现电路瑕疵只能再次进行光罩改版；然而光罩价格不斐，且重新下光罩后，等待修改过后的芯片时间通常超过一个月，因此，多数IC设计业者，会选择IC电路修补，只需几个小时内即可完成修改，确保电路设计符合预期，并降低时间及金钱的成本耗损。

宜特进一步说明，电路修改最常使用的工具为FIB (Focus Ion Beam)聚焦离子束电子显微镜，是利用镓(GA+)离子源透过电场牵引成离子束，高速碰撞样品表面产生二次离、电子收集后成像；而离子轰击过程中利用注入不同气体，对芯片上各种材料进行选择性地加速或减缓蚀刻，以及沉积导电和介电绝缘材料，达到修改电路的目的，搭配CAD导航系统辅助，准确的定位目标，提高电路修补精准度。

宜特是台湾首家执行FIB电路修补的民营实验室，翻转IC设计业以往的验证模式，大幅缩短IC设计公司从概念设计到量产上市时间并节省研发经费， 宜特目前的电路修补技术不仅可完成5nm晶背电路修补外，今年更引进的最新设备，其影像分辨率更由4.5nm提升至3.5nm，提高深层、微小线径及复杂电路修补的成功率，并且其介电材料有更高的电阻率(1E15 uΩ-cm)，绝缘效果更加强化，挑战更先进工艺。

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