在半导体工艺中,一旦更换了材料,就必须考虑工艺设备是否也需改变,设备变更后所生产的样品是否堪用、质量是否稳定符合原来IC设计的规格,因此在挑选新材料的开发时期以及确认材料变更后的生产验证,势必要进行一连串严格的材料分析….
在半导体工艺中,一旦更换了材料,就必须考虑工艺设备是否也需改变,设备变更后所生产的样品是否堪用、质量是否稳定符合原来IC设计的规格,因此在挑选新材料的开发时期以及确认材料变更后的生产验证,势必要进行一连串严格的材料分析….