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by admin
先进工艺新材料特性 就靠它来验
2022-09-13

在半导体工艺中,一旦更换了材料,就必须考虑工艺设备是否也需改变,设备变更后所生产的样品是否堪用、质量是否稳定符合原来IC设计的规格,因此在挑选新材料的开发时期以及确认材料变更后的生产验证,势必要进行一连串严格的材料分析….

如何不破坏样品,分析晶体结构与薄膜特性?
2018-01-24

透过X光与晶体产生的绕射图谱并配合数据库比对,可解析材料的织构、晶体排列的方式等,作为评估材料特性的一种非破坏式分析…