你或许知道可以利用逆向工程了解产品设计架构，避免专利纠纷；那么若您的样品因故无法进行破坏性去层，该使用何种工具进行逆向工程，观察复杂线路布局(Layout)呢?
那要如何清楚以逆向工程方式，透视微奈米级的线路避免专利纠纷？可利用大范围扫描拍照拼图达四万倍、局部拍照可达百万倍的扫描电子显微镜(SEM)来进行拍照…
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