往往我们可以检测的大多是固态样品，但若遇到欲检测的物品是液态，或者怀疑Defect来自于制程中的液态物质该如何分析呢?针对一般的样品，以往我们会使用SEM检测，然而….
那要如何清楚以逆向工程方式，透视微奈米级的线路避免专利纠纷？可利用大范围扫描拍照拼图达四万倍、局部拍照可达百万倍的扫描电子显微镜(SEM)来进行拍照…