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by admin
先进工艺的IC,该如何从晶背进行FIB电路修补?
2019-03-13

随着摩尔定律当工艺来到16奈米(nm)以下的制程,包装型式多数为覆晶技术(Flip Chip),因此FIB电路修补就必须从芯片背面(晶背,Backside)来执行……