
IC有问题,想抓出缺陷,却总是选错分析方式与仪器?近乎隐形的制程问题,奈米等级的表面污染缺陷,该如何选择到位的分析方式呢?宜特在验证分析领域耕耘20多年…

在晶圆尚未上电路(Pattern)之前,须了解晶圆是否平整,得以确认后续Layout状况。当晶圆上了电路之后,更需监控粗糙度数据,才能确保后续上板后的质量…

常用来判断P/N well的方式,是将芯片染色 (stain)后,再利用SEM(扫描式电子显微镜)拍摄其宽度、深度及量测磊晶层厚度,但是SEM的电子影像为黑白图像,无法有确切的数据或颜色可以分辨P/N well,往往需要自行判断与猜测…