首頁 技术文库 技术文库 2017-05-28by admin 如何选择适当表面分析仪器,抓出工艺污染缺陷 2018-08-29 IC有问题,想抓出缺陷,却总是选错分析方式与仪器?近乎隐形的制程问题,奈米等级的表面污染缺陷,该如何选择到位的分析方式呢?宜特在验证分析领域耕耘20多年… Read More 表面分析、材料分析 量测粗糙度一定要破坏整片晶圆 2017-04-25 在晶圆尚未上电路(Pattern)之前,须了解晶圆是否平整,得以确认后续Layout状况。当晶圆上了电路之后,更需监控粗糙度数据,才能确保后续上板后的质量… Read More 表面分析、材料分析 跳脱黑与白,戴上彩色眼镜轻松判别P/N type 2017-01-11 常用来判断P/N well的方式,是将芯片染色 (stain)后,再利用SEM(扫描式电子显微镜)拍摄其宽度、深度及量测磊晶层厚度,但是SEM的电子影像为黑白图像,无法有确切的数据或颜色可以分辨P/N well,往往需要自行判断与猜测… Read More 表面分析、材料分析