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by admin
EDS能谱中的伪讯号跟能峰重迭 如何聪明判读
2024-06-25

在半导体制程接近极限之际,材料分析成为突破瓶颈的关键,业界经常使用电子显微镜(TEM)搭配X光能量散布能谱仪(EDS)解析微奈米材料。但EDS的能量分辨率较低,容易造成能峰重迭和伪讯号两大问题,该如何判读EDS能谱,才能解析出正确的材料成分分析结果?

破解半导体差排轨迹 TEM技术找出芯片漏电真因
2024-04-16

差排轨迹 在芯片制造过程中,是一个相当棘手的问题,这个微小缺陷可能会引发半导体组件的漏电流,进而严重影响组件的可靠性。TEM是目前唯一能观察差排的分析工具…

氮化镓磊晶层差排类型分析唯一利器 如何用TEM解开谜团
2024-02-22

氮化镓差排 是影响组件功能的一大要素。如何解析差排类型,并将差排的密度控制在一定范围,是第三类半导体发展的重要关键。目前产业中即使能检查出差排密度,但仅有TEM才能解析出差排类型,究竟TEM是运用什么原理来解析的呢?

如何以低成本TEM 技术 解析原子级异质晶体界面
2023-09-21

高阶TEM试片费用高昂,但异质材料堆栈的接合问题偏偏又需要原子级的分析,有没有什么办法兼顾成本和需求?本文将以两案例说明,如何运用傅立叶过滤技术,以相对低的成本提升TEM试片的HRTEM影像质量,探索原子级异质晶体界面分析…

关于TEM材料分析你不知道的事,五大案例揭开TEM的暗黑功能
2023-07-27

TEM鲜为人知却非常好用的功能,你都知道吗?本篇将以四案例示范,如何运用TEM暗场影像,达成有效率又有效的材料分析…

TEM影像黑白讲 如何判读影像明暗度 解开材料隐藏的秘密
2023-05-23

明明是同一张TEM黑白影像,却有截然不同的判读?判读正确,快速改良工艺,拉大和竞争对手的距离。判读错误,引起不必要的恐慌,搞得人心惶惶?在TEM的黑与白之间,究竟存在着什么学问,如何确保自己是站在正确的一方呢?

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