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by admin
除了EDS 你应该认识的另一把TEM分析利器 EELS
2025-06-12

在TEM成份分析中,你是否也习惯依赖EDS解决所有问题?但一遇到轻元素、化学态判读,数据却模糊不清、解释总是卡卡的。其实,这不是仪器不够力,而是你还没认识 EELS电子能量损失仪 这项高解析利器…

想提升第三类半导体轻元素准确度?必学TEM/EDS定量分析自我校正
2025-03-18

当TEM/EDS分析涉及碳、氮、氧等轻元素,若无特殊校正技术,成分分析的准确性将难以保证。本文介绍自我校正技术,透过参考相修正EDS数据,大幅提升氧化物、氮化物等分析的准确度,并以GaN薄膜案例验证其应用成效…

突破A14先进工艺挑战 APT如何引领材料分析新时代
2025-01-07

A14工艺即将问世,随着半导体组件尺寸微缩,原子探针断层扫描仪(APT)成为新兴的材料分析技术,APT的原理机制究竟是什么?而APT针尖型的样品又该如何制备呢?

TEM EDS分析失准?原来是轻元素吸收效应在作怪
2024-07-16

TEM EDS轻元素,如碳、氮、氧等,容易导致TEM/EDS成份分析失真?原来都是低能量X光吸收效应在捣蛋。了解并克服这一问题,对于提高组件可靠性和成份分析的准确性至关重要…

EDS能谱中的伪讯号跟能峰重迭 如何聪明判读
2024-06-25

在半导体工艺接近极限之际,材料分析成为突破瓶颈的关键,业界经常使用电子显微镜(TEM)搭配X光能量散布能谱仪(EDS)解析微奈米材料。但EDS的能量分辨率较低,容易造成能峰重迭和伪讯号两大问题,该如何判读EDS能谱,才能解析出正确的材料成分分析结果?

破解半导体差排轨迹 TEM技术找出芯片漏电真因
2024-04-16

差排轨迹 在芯片制造过程中,是一个相当棘手的问题,这个微小缺陷可能会引发半导体组件的漏电流,进而严重影响组件的可靠性。TEM是目前唯一能观察差排的分析工具…

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