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by admin
液态材料的缺陷,如何用SEM检测?
2019-03-04

往往我们可以检测的大多是固态样品,但若遇到欲检测的物品是液态,或者怀疑Defect来自于制程中的液态物质该如何分析呢?针对一般的样品,以往我们会使用SEM检测,然而….

如何选择适当表面分析仪器,抓出工艺污染缺陷
2018-08-29

IC有问题,想抓出缺陷,却总是选错分析方式与仪器?近乎隐形的制程问题,奈米等级的表面污染缺陷,该如何选择到位的分析方式呢?宜特在验证分析领域耕耘20多年…

如何不破坏样品,分析晶体结构与薄膜特性?
2018-01-24

透过X光与晶体产生的绕射图谱并配合数据库比对,可解析材料的织构、晶体排列的方式等,作为评估材料特性的一种非破坏式分析…

晶圆/LED工艺工程师必看! 计算P/N离子浓度利器是…
2017-12-26

和身为晶圆/LED制程工程师的您分享,得知P/N 离子浓度分布的绝佳利器-二次离子质谱分析技术(SIMS)…

量测粗糙度一定要破坏整片晶圆
2017-04-25

在晶圆尚未上电路(Pattern)之前,须了解晶圆是否平整,得以确认后续Layout状况。当晶圆上了电路之后,更需监控粗糙度数据,才能确保后续上板后的质量…

跳脱黑与白,戴上彩色眼镜轻松判别P/N type
2017-01-11

常用来判断P/N well的方式,是将芯片染色 (stain)后,再利用SEM(扫描式电子显微镜)拍摄其宽度、深度及量测磊晶层厚度,但是SEM的电子影像为黑白图像,无法有确切的数据或颜色可以分辨P/N well,往往需要自行判断与猜测…