一般而言，常用来判断P/N well的方式，是将芯片染色 (stain)后，再利用SEM(扫描式电子显微镜)拍摄其宽度、深度及量测磊晶层厚度，但是SEM的电子影像为黑白图像，无法有确切的数据或颜色可以分辨P/N well，往往需要自行判断与猜测。而可提供颜色判断P/N well的SCM，正好可以补足这块。

SCM(扫描式电容显微镜)为挂载在AFM(原子力显微镜)上的侦测模块，其分析原理为将样品盖胶研磨后，给定AC(交流电)搭配导电探针量测，可以直接得到dC/dV的讯号，进而得知P/N分布，透过改变color bar来判别P/N well。

因此，判别P/N的绝佳方式，建议利用SEM清晰影像，可获得其精确宽度与深度；再搭配SCM的电性色块分析，轻松辨别芯片pattern位置。

以下分享SEM搭配SCM的实例。从SEM图(左图)可以量测宽度及深度，不过由于电子影像呈现方式为黑白图像，只要搭配SCM图(右图)来判别P/N well，就可由电性上得知正电(紫色)为P well，负电(红色)为N well。