电子能量损失能谱仪 (EELS)是除了能量散射X射线谱 (EDS)之外，另一种加装在TEM的成份分析附属设备。在高能电子束与样品交互作用后，EELS的能量分辨率可达1 eV以下，所得之能谱提供低原子序元素定量准确度，并可额外提供原子键结、电子性质等信息。
iST 宜特能为你做什么
EELS (Electron Energy Loss spectroscope) 在TEM中具备高空间分辨率、高能量分辨率、对轻元素灵敏，并能透过能谱获取元素、价态与键结分布。与EDS互补，提供更精确的元素与化学信息，帮助客户在半导体、奈米材料及能源领域先进材料分析的关键工具。
iST 宜特服务优势
案例分享
半导体中不同键结Si元素分析
DualEELS 技术可同时撷取低能损与核心损失信号，提升价态分析、背景扣除与多元素分析效率。
EDS仅有各元素的组成，EELS则能透过分析 Cu L₃ 和 L₂ 边刃的强度比来揭示铜的氧化态与结构。
EFTEM透过能量滤波器，挑选特定能量损失的电子来成像观察材料中不同层次的成分变化。
- 半导体产业
- LED产业
- 光电产业
- 微机电(MEMS)产业
- 能源材料产业
- 半导体：IC工艺、先进封装。
- 能源材料产业：锂电池。
- 金属∕合金：铜、铁、铝、镍金属、高熵合金…等。
- 陶瓷：ITO、氧化铝、氧化锆、SiC、WC…等。
- 薄膜：具结晶之镀层
Gatan GIF Model 1065 Continuum ER
| Spectral rate, max. (sps) | 8000 |
| Sensor size (pixel x pixel) | 2048 x 2048 |
| Energy resolution | <1.0eV |
| Energy range (eV) | 3000 |