XPS/ESCA原理就是藉由光电效应,当X光照射至样品内部时,原子内层的电子将被激发产生光电子,而只有靠近材料表面的光电子才能逃离被仪器测得。藉由分析此光电子,可得知表面元素组成种类,进而判断化学链结。
iST 宜特服务优势
iST宜特高阶XPS – Quantera II扫描式X光光电子能谱仪,相较传统XPS最小仅能达到50微米的微区分析能力,宜特Quantera II最小可达7.5微米,更能针对样品表面更细微的结构进行化学态分析(Chemical State Analysis)、纵深分析(Depth Profile),满足业界所需。
案例分享
- 表面污染/变色之成份分析(Surface survey) : 样品表面100A以内的成份分析。
- 表面化学组态分析 (Narrow scan) : 样品表面100A以内的元素化学组态键结分析。
- 样品氧化状况(氧化层厚度及氧化态)分析。
- 多层薄膜纵深分析 (Depth Profile) : 藉由Ar 离子溅蚀样品的表面,得到不同深度的元素信号之纵深分布。
- 图谱分析(Mapping) : 分析样品区域元素信号,得到区域元素分布影像图。
- 线扫描(Line scan): 分析样品直线上的元素信号,得到直线元素分布图。

PHI Quantera II
- X射线束最小直径:7.5um
- 能量分辨率:0.48 eV (Ag3d5/2)
- 试片定位:SPS光学及SXI成像
- 试片大小:<75mm
在半导体、LED、印刷电路板及面板产业中,表面元素分析在产品开发与产线监控上,扮演重要角色