iST 宜特服务优势
宜特拥有多台目前业界主流的场发射扫描式电子显微镜(扫描电镜,FE-SEM):Hitachi SU8600、Hitachi Regulus 8240、Hitachi SU8220、Hitachi SU8020,且加装EDS (SDD detector),可提供高解析之表面结构分析影像,亦可快速进行材料成份之分析。同时配备YAG BSE Detector,使SEM可用背向散射电子(Backscattered Electron,简称BSE)来成像。
案例分享
此为使用扫描式电子显微镜(SEM)大范围拍摄之影像,左图是由100张拼图而成的SEM影像,右图为取之左图其中一小块的影像,可以清楚呈现奈米等级的线路。
藉由层层delayer,并使用SEM拍照拼图,客户可透过宜特软件,检视各层Metal之对应关系
- 针对各种材料表面微结构观察
- SEM量测样品尺寸,如膜厚等
- EDS可针对样品表面,进行微区定性与半定量成份元素分析/ 特定区域之Point、Line Scan、Mapping分析
- EDS SDD detector可在低电压下,提升Mapping的空间分辨率
- SEM自动拍照,搭配去层技术de-process,可提供电路逆向工程参考
- 利用低能电子束扫描做被动式电压对比(Passive Voltage Contrast, PVC),对于异常漏电或接触不良的半导体组件损坏可精准定位
![HITACHI SU8020](https://cn.istgroup.com/wp-content/uploads/2017/08/Service_MA_SEM_12-300x225.jpg)
HITACHI SU8020
- 电子枪:Cold FE
- 分辨率:1.0nm (加速电压15kV) ,1.3nm(加速电压1kV)
- 倍率:30~800k
- 加速电压:0.1~30kV
![HITACHI SU8220](https://cn.istgroup.com/wp-content/uploads/2017/08/Service_MA_SEM_13-300x225.jpg)
HITACHI SU8220
- 电子枪:Cold FE
- 分辨率:0.8nm (加速电压15kV) ,1.1nm(加速电压1kV)
- 倍率:20~1000k
- 加速电压:0.01~30kV
![SEM-JEOL 6700-F](https://cn.istgroup.com/wp-content/uploads/2017/07/Service_SEM_10.jpg)
HITACHI Regulus 8240
- 电子枪:Cold FE
- 分辨率:0.7nm(加速电压15kV),0.9nm(加速电压1kV)
- 倍率:20~1000k
- 加速电压:0.01~30kV
- 自动拍照功能(Auto Capture)
![](https://cn.istgroup.com/wp-content/uploads/2017/07/Service_MA_SEM_SU8600-300x231.png)
HITACHI SU8600
- 电子枪:Cold FE
- 分辨率:0.6nm(加速电压15kV),0.7nm(加速电压1kV)
- 倍率:20~1000k
- 加速电压:0.01~30kV