穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像，影像分辨率可达0.1奈米的原子等级，用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。
「光」革新突破半导体极限 硅光子芯片即将上阵
AI应用的关键SRAM失效了 异常真因该怎么找呢
TEM EDS分析失准？原来是轻元素吸收效应在作怪
EDS能谱中的伪讯号跟能峰重迭 如何聪明判读
破解半导体差排轨迹 TEM技术找出芯片漏电真因
氮化镓磊晶层差排类型分析唯一利器 如何用TEM解开谜团
高阶芯片异常点无所遁形 C-AFM一针见内鬼
靠这招 速找宽能隙GaN芯片异常点
突破先進封裝技術 奈米壓痕及刮痕測試的四大應用
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iST 宜特能为你做什么
可针对材料之显微结构、晶格缺陷(Dislocation)、化学成分进行分析；搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能，更能得到原子尺度结构与成份信息，解决制程上各种难题。
iST 宜特服务优势
案例分享
先进制程FINFET影像
高倍率原子影像
28奈米HKMG晶体管TEM影像
28奈米HKMG晶体管EDS mapping
28奈米HKMG晶体管EDS line-scan
3D V-NAND Flash结构分析
3D V-NAND Flash EDS line scan分析
LED QW与n spacer磊晶结构
LED QW结构之EDS元素分析
Horizontal direction
Vertical direction
- 显微结构分析(晶格影像)
- 结晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析
- 元素成分分析
- 薄膜应力分析
- 电子绕射图分析
- 杂质及污染源分析
- 视频自动量测分析
- 半导体产业
- LED产业
- 光电产业
- 微机电(MEMS)产业
FEI Talos-F200
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm |
| EDS | Detector: SDD 30 mm2 x 4 Solid angle: 0.95 |
| 其他功能 | Piezo stage + DCFI 4K x 4K CCD |
JEOL JEM-2800F
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.2nm |
| EDS | Detector: SDD 100 mm2 x 2 Solid angle: 1.7 |
| 其他功能 | Strain mapping 4K x 4K CCD |
JEOL JEM-2100F
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.2nm |
JEOL JEM-F200
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm |
| EDS | Detector: SDD 100 mm2 x 2 Solid angle: 1.7 |
| 其他功能 | Strain mapping 4K x 4K CCD |