穿透式电子显微镜 (TEM)

穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像，影像分辨率可达0.1奈米的原子等级，用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。

iST 宜特能为你做什么

可针对材料之显微结构、晶格缺陷(Dislocation)、化学成分进行分析；搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能，更能得到原子尺度结构与成份信息，解决制程上各种难题。

领先市场的TEM分析能力：已达2纳米工艺节点

快速交期：二班制24小时运作

FEI、JEOL等高阶设备，供您选择

样品制备能量：业界高阶Thermo Fisher Scientific (FEI) Helios Dual-beam FIB设备，搭配消除试片损伤层（离子束能量可低至500 V）的技术，将协助您取得高质量TEM影像。

先进制程FINFET影像

高倍率原子影像

28奈米HKMG晶体管TEM影像

28奈米HKMG晶体管EDS mapping

28奈米HKMG晶体管EDS line-scan

3D V-NAND Flash结构分析

3D V-NAND Flash EDS line scan分析

LED QW与n spacer磊晶结构

LED QW结构之EDS元素分析

Horizontal direction

Vertical direction

影像	TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm
EDS	Detector: SDD 30 mm² x 4 Solid angle: 0.95
其他功能	Piezo stage + DCFI 4K x 4K CCD

影像	TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.2nm
EDS	Detector: SDD 100 mm² x 2 Solid angle: 1.7
其他功能	Strain mapping 4K x 4K CCD

影像	TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.2nm

影像	TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm
EDS	Detector: SDD 100 mm² x 2 Solid angle: 1.7
其他功能	Strain mapping 4K x 4K CCD

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