电子能量损失能谱仪 (EELS)是除了能量散射X射线谱 (EDS)之外,另一种加装在TEM的成份分析附属设备。在高能电子束与样品交互作用后,EELS的能量分辨率可达1 eV以下,所得之能谱提供低原子序元素定量准确度,并可额外提供原子键结、电子性质等信息。
EELS (Electron Energy Loss spectroscope) 在TEM中具备高空间分辨率、高能量分辨率、对轻元素灵敏,并能透过能谱获取元素、价态与键结分布。与EDS互补,提供更精确的元素与化学信息,帮助客户在半导体、奈米材料及能源领域先进材料分析的关键工具。
本实验室配备先进的 Gatan GIF Model 1065 Continuum ER,搭载高质量 CMOS 侦测器。
具备 DualEELS™ 双能区同步采集、高能量分辨率(<1.0 eV)及高速光谱撷取能力。
大幅提升元素分析、化学态辨识与电子结构研究效率,并提供稳定且高精度的 EELS 分析平台。
24小时运作,兼具高质量与快速交期。