白光干涉仪(White Light Interferometry, WLI)，属于非接触式的3D光学式量测仪器，为光学式轮廓仪(Optical Profiler, OP)的其中一种，可进行样品粗糙度分析。主要原理系藉由白光的低同调特性，将物体反射的光线与和参考面反射光线透过分光镜，产生干涉波，由相位差求得表面形貌高度。
iST 宜特能为你做什么
- 表面粗糙度参数、表面粗糙度分析
- 3D表面形貌量测(彩色3D立体图)
- 透光薄膜膜厚量测
iST 宜特服务优势
案例分享
2D表面粗糙度分析图，可得出 Ra、Rp、Rq、Rt、Rv数值。
压克力块材的表面形貌
金属凸块的形貌
金属圆棒于表面研磨后的3D真实影像
可得知薄膜厚度分布状况以及平均厚度
10元硬币的表面形貌
10元硬币的3D影像
Bruker Contour GT-K Elite
- 样品大小(mm)： W200 x L200 x H50
( 8”Wafer Compatible) - 样品台最大载重：4.5kg (10 lbs.)
- 纵向量测范围：Max. 9mm
- 奈米级纵向分辨率：~0.1nm
- 最大量测范围：2.3*1.7mm2(单张图)
- Thick/thin film可量测厚度：
＜=2μm(特定材料)
＞2μm (需已知材料折射率) - 能支持自动接图模式，完成大面积图形
- 半导体产业的晶圆量测
- 微机电产业（MEMS）、芯片封装、精密加工的机械组件量测
- 显示器、太阳能与LED产业的尺寸量测