如何选择适当表面分析仪器，抓出工艺污染缺陷iST 宜特能为你做什么
俄歇电子显微镜(Auger, AES)具有奈米级单点分析以及极表面(＜10nm)的分析能力，搭配机台内离子枪蚀刻(Ar)可得到各层元素在不同深度间的分布比例。
案例分享
Au Pad 上特定小区域分析
纵深分析 (Depth Profile)，鉴别各元素Atomic %分布
- 样品表面元素分析(Surface Analysis)
- 元素纵深分析 -以Ar+(3kV 1uA)蚀刻样品表面
- 元素分布分析
适用于电机、机械、电子、材料、化学、化工等研究领域
俄歇电子显微镜(Auger, AES)具有奈米级单点分析以及极表面(＜10nm)的分析能力，搭配机台内离子枪蚀刻(Ar)可得到各层元素在不同深度间的分布比例。
Au Pad 上特定小区域分析
纵深分析 (Depth Profile)，鉴别各元素Atomic %分布
适用于电机、机械、电子、材料、化学、化工等研究领域