透过SEM显微镜的极小曲率半径探针，搭接IC内部线路或接触层(Contact Layer)，使其外接电性量测设备，藉此输入讯号并量测电特性曲线；另外，亦可利用SEM电子束特性，进行相关应用分析，包括EBIC電子束感應電流(Electron Beam Induced Current)、EBAC電子束吸收電流(Electron Beam Absorbed Current )、EBIRCH電子束感應阻抗偵測 (Electron Beam Induced Resistance Change)。
iST 宜特能为你做什么
1. 在SEM真空环境下进行电特性量测，可避免外界环境的噪声干扰。对于半导体组件的故障分析，以及组件在奈米尺度下的研发，提供直接且快速的信息。
2. 在IC内部线路层或接触层(Contact Layer)电性量测发现异常后，可在同一台设备切换量测模式，直接确认异常位置。
iST 宜特服务优势
案例分享
IC样品去层至接触层(Contact Layer)后，在SEM真空环境下进行电性量测。
使用EBIC于接触层(Contact Layer)定位异常点，提高异常点定位精准度。
使用EBAC找出电路之开路(Open)异常位置。
- 组件电特性分析
- 组件质量及故障分析