在芯片表面使用聚焦离子束形成导电孔及导电垫子,再利用特殊接合方式使导电垫子连接金属导线,以形成导电路径。
iST 宜特服务优势
优势比较 | N-FIB | 传统 FIB |
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R esistance with long wiring (1000 μ m) | 1 Ω± 10% | 7000 Ω± 10% |
Parasitic capacitance | < 200fF | Less |
Parasitic inductance | ~0.5nH/mm | Less |
Current limit | Less | Possible |
Power line | 1A | 3mA |
Insert device | Yes | No |
案例分享
- 低阻抗的长距离端点连结
- 减少离子束的破坏
- 适用于大电流或电源电路
- 可插入电阻/电容被动组件