穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像，影像分辨率可达0.1奈米的原子等级，用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。
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- 结晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析
- 元素成分分析
- 薄膜应力分析
- 电子绕射图分析
- 杂质及污染源分析
- 视频自动量测分析
- 半导体产业
- LED产业
- 光电产业
- 微机电(MEMS)产业
FEI Talos-F200
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm |
| EDS | Detector: SDD 30 mm2 x 4 Solid angle: 0.95 |
| 其他功能 | Piezo stage + DCFI 4K x 4K CCD |
